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Small:杂化钙钛矿上的光刻多色图案化，用于纳米光电应用

xnh888 2024-11-02 14:05:42 技术教程 42 ℃ 0 评论

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超薄杂化钙钛矿具有独特的性质和二维几何结构，在纳米光学和光电器件中具有巨大的潜力。然而，由于它们很容易被标准光刻工艺中使用的有机溶剂损坏，因此要与高分辨率图案技术兼容以实现小型化和集成应用仍然具有挑战性。

有鉴于此，近日，南京工业大学王琳教授团队开发了一种灵活的三步法在杂化钙钛矿上进行高分辨率多色图案化，特别是在单个纳米片上实现。该过程包括先合成前驱体PbI₂，然后进行电子束光刻，最后转化为目标钙钛矿。可获得线宽150 nm左右的图案，可应用于微型光电器件和高分辨率显示器。例如，钙钛矿光电探测器的沟道长度可达126 nm。通过确定的气相阴离子交换，钙钛矿纳米片不仅可以在较宽的波长范围内逐渐改变相同图案的颜色，而且可以同时显示不同的颜色。该方法可以应用于无限制钙钛矿类型和器件配置的高集成度微型应用。

图文导读

图1. 杂化钙钛矿上的高分辨图案化。

图2. 钙钛矿的气相阴离子交换。

图3. 在宽范围内的连续波长发光。

图4. 在一个纳米片中多色图案化。

图5. 具有短沟道长度的光电探测器。

文献信息

Lithographic Multicolor Patterning on Hybrid Perovskites for Nano-Optoelectronic Applications

(Small, 2022, DOI:10.1002/smll.202205227)

文献链接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/smll.202205227

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